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以下数据仅供参考
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Item项目
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CK-UVW-100
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CK-UVW-160
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CK-UVW-200
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CK-UVW-300
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CK-UVW-400
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Stroke
行程
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X axis:±5mm
X轴:±5mm
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X axis:±5mm
X轴:±5mm
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X axis:±5mm
X轴:±5mm
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X axis:±6mm
X轴:±6mm
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X axis:±3mm
X轴:±3mm
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Y axis:±5mm
Y轴:±5mm
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Y axis:±5mm
Y轴:±5mm
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Y axis:±5mm
Y轴:±5mm
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Y axis:±6mm
Y轴:±6mm
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Y axis:±3mm
Y轴:±3mm
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θaxis:±3°
θ轴:±3°
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θaxis:±3°
θ轴:±3°
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θaxis:±2.5°
θ轴:±2.5°
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θaxis:±3°
θ轴:±3°
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θaxis:±3°
θ轴:±3°
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Table size工作台尺寸
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100mm×100mm
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160mm×160mm
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200mm×200mm
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300mm×300mm
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400mm×400mm
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Base size 基座尺寸
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130mm×130mm
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180mm×180mm
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240mm×240mm
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350mm×350mm
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450mm×450mm
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Height高度
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80mm
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85mm
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90mm
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95mm
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100mm
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Motor
电机
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Setpping motor
步进马达
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Setpping motor
步进马达
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Setpping motor
步进马达
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Setpping motor
步进马达
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Servomotor
伺服马达
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Stage material
平台材质
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Lron:low temperature black chrome plating treatment Aluminum:Black alumite treatment
铁：低温黑色铬处理 铝：黑色耐酸铝处理
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Weight重量
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3.5kg
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8.5kg
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18kg
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44kg
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75kg
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Resolution(factory seting)分辨率（出厂时设定）
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0.2μm/pulse
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Repetitive positioning accuracy
重复定位精度
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Within±1μm
±1μm以内
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Within±0.7μm
±0.7μm以内
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Within±1μm
±1μm以内
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Within±1μm
±1μm以内
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Within±0.7μm
±0.7μm以内
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Lost motion
无效运动
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Within3μm
3μm以内
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Within2μm
2μm以内
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Within2μm
2μm以内
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Within2μm
2μm以内
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Within2μm
2μm以内
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Load carrying capacity when stopped
(Distributed load in the vertical direction)
静止时负载功率（垂直方向等分布载荷）
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50N
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500N
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1000N
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2000N
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3000N
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Load carrying capacity when moving
(Distributed load in the vertical direction)
移动时负载功率（垂直方向等分布载荷）
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10N
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100N
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200N
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400N
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500N
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Degree of parallelism平行度
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30μm
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